相比传统陶瓷管气体传感器，基于先进 MEMS 技术的硅基 MEMS 气体传感器，尤其是采用金属氧化物半导体气敏材料的硅基 MEMS 气体传感器，以其具有灵敏度、响应快、体积小、功耗低、易集成、稳定性强等显著特点。