科林研发公司(拉姆研究、泛林集团)Lam Research Corporation(NASDAQ:LRCX)创立于1980年,总部位于美国加州弗里蒙特,全职雇员14,100人,是向世界半导体产业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商之一,是目前全球第三大半导体生产商(仅次于ASML和AMAT)。
科林研发公司还为电介质蚀刻应用提供了Flex;以及Kiyo,用于导体蚀刻应用; 用于硅通孔蚀刻的Syndion; 以及用于金属蚀刻工艺的Versys金属产品。
此外,科林研发公司还提供Coronus bevel清洁产品以提高模具产量; 达芬奇(Da Vinci,),DV-Prime,EOS和SP用于解决一系列晶圆清洗应用;和Metryx质量计量系统,用于半导体晶圆制造中的高精度在线质量测量。